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opticalexcitation.相关论文
硅微机械谐振器特性与激励光斑位置关系的研究
阐述了对硅悬臂梁谐振子进行光激励研究的结果,结果表明,谐振子的振幅与激励光斑的位置以及所激励的模态有关,在模态的两节点的中心位......
期刊
悬臂梁
谐振子
光激励
微机械
硅谐振器
传感器
cantilever
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optical excitation.
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